
浙江海纳精密设备
精密气体测控,贯穿半导体与真空工艺
面向半导体及电子制造等先进制造领域,研发与制造精密气体流量控制、测量、分析及高纯气体输送设备。
以热式与压差式质量流量控制器、质量流量计、残余气体分析仪及模组化气体系统为核心,集研发、精密制造、系统集成、测试验证与技术支持于一体,可应用于工艺气体输送、薄膜沉积、真空工艺、气体监测与设备集成,并根据具体工艺与系统需求提供定制化工程支持。
产品中心
关键气体与真空工艺部件
按工艺角色进入产品分类,完成从单点控制到系统集成的选型。
应用展廊
走进关键制造现场
六大制造现场——半导体、光伏、真空镀膜、金刚石、分析科研、食品饮料。按工艺场景展示气体测控与系统的实际应用。
选择海纳公司
为什么信赖我们
产品标定可追溯,案例覆盖半导体与真空工艺,选型、调试与售后均有工程师直接对接。
精度导向
面向工艺气体与真空工况,关注测控一致性与可重复性。
工艺经验
覆盖半导体、真空薄膜与工业流体等典型应用场景。
本地支持
国内团队响应选型、调试与现场沟通,缩短协作链路。
资料齐全
产品资料与技术文档集中入口,便于评估与归档。
服务与支持
选型咨询、技术资料与售后支持
技术支持、资料中心与询价通道统一入口,缩短沟通成本。
需要质量流量、残余气体分析或气体系统选型建议?
留下工艺气体、真空工况或系统配置条件,应用工程师将协助梳理可行路径。






