海纳精密 · 精密气体与流体控制

海纳精密

精密流体测量与控控,服务半导体制造与真空工艺

质量流量控制器 · 残余气体分析仪 · 集成式气路系统 — 服务半导体制造、真空工艺与工业流体系统。

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浙江海纳精密设备

精密气体测控,贯穿半导体与真空工艺

面向半导体及电子制造等先进制造领域,研发与制造精密气体流量控制、测量、分析及高纯气体输送设备。

以热式与压差式质量流量控制器、质量流量计、残余气体分析仪及模组化气体系统为核心,集研发、精密制造、系统集成、测试验证与技术支持于一体,可应用于工艺气体输送、薄膜沉积、真空工艺、气体监测与设备集成,并根据具体工艺与系统需求提供定制化工程支持。

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为什么信赖我们

产品标定可追溯,案例覆盖半导体与真空工艺,选型、调试与售后均有工程师直接对接。

精度导向

面向工艺气体与真空工况,关注测控一致性与可重复性。

工艺经验

覆盖半导体、真空薄膜与工业流体等典型应用场景。

本地支持

国内团队响应选型、调试与现场沟通,缩短协作链路。

资料齐全

产品资料与技术文档集中入口,便于评估与归档。

解决方案

气体控制、真空分析与系统集成

半导体气体控制、真空 RGA 监测与集成式气体系统方案,按场景串联产品。

全部方案
01

半导体工艺气体控制

从工艺介质与设备动作出发,组织流量、压力、阀件和通信接口。

了解方案
02

模块化高纯气体系统

按气路功能、维护边界和设备空间组织阀件、基座与测控部件。

了解方案
03

真空腔体残余气体诊断

把本底、设备动作和组分趋势关联起来,支持真空过程判断。

了解方案

需要质量流量、残余气体分析或气体系统选型建议?

留下工艺气体、真空工况或系统配置条件,应用工程师将协助梳理可行路径。