超高纯接头

超高纯接头（UHP Fittings）采用高纯度不锈钢材料，经特殊表面处理，满足半导体、LED、光伏等行业的超高纯气体输送需求。产品包括 VCR 接头、VCO 接头、卡套接头等，泄漏率低至 1×10⁻¹¹ Pa·m³/s (He)。