将工况输入、功能单元与系统接口组织为清晰、可讨论的工程路径。
从工艺介质与设备动作出发，组织流量、压力、阀件和通信接口。
按气路功能、维护边界和设备空间组织阀件、基座与测控部件。
把本底、设备动作和组分趋势关联起来，支持真空过程判断。