面向半导体与先进制造,研发制造精密气体流量控制、测量与分析设备,提供从器件到系统的定制化工程支持。
浙江海纳精密设备有限公司(HNR)面向半导体及电子制造等先进制造领域,研发与制造精密气体流量控制、测量、分析及高纯气体输送设备。公司集研发、精密制造、系统集成、测试验证与技术支持于一体,围绕「精准测控」构建从器件到系统的完整能力。
主要产品包括热式与压差式质量流量控制器、质量流量计、残余气体分析仪(RGA)以及模组化气体系统,涵盖流量、压力、液体汽化、气体分析与集成式气体系统(IGS)等方向,可广泛应用于工艺气体输送、薄膜沉积、真空工艺、气体监测与设备集成。
依托长期主义的工程实践,HNR 可根据具体工艺与系统需求提供定制化工程支持,帮助设备与工艺团队从工况出发完成选型、集成与验证,构建稳定、可追溯、值得信赖的气体控制方案。
测量 · 控制 · 分析 · 连接
产品方向
按行业与工况组织
应用入口
资料可追溯
参数治理
按确认范围执行
项目边界
按行业与工艺场景组织产品:先理解应用需求,再从产品线中匹配最合适的配置。避免"按型号选型"导致的过配或欠配,帮助工程师高效完成从需求到方案的转化。
压差式质量流量控制(PS300/PS500)、残余气体分析(HMS-F/HMS-C)、集成式气体系统与气体混配(GMD)构成面向气体控制与气氛监测的产品组合;GMD 功能与配置按项目确认。
围绕本地研发、制造与供应协同持续建设产品能力,具体知识产权与供应信息以公司确认资料为准。
关键规格、接口定义与应用边界清晰呈现。PS300/PS500 基于实际工艺气体标定,其精度与响应参数以产品资料为准,便于工程师评估与选型。
围绕选型、接口和联调开展项目沟通,工作内容与响应方式以确认的项目范围为准。
告诉我们介质、流量范围、真空度或压力等级,应用工程师将协助梳理可行路径。