管阀件及集成气路系统基块
HN DVM 手动隔膜阀
模块化气路手动隔膜阀。W 型密封和 C 型密封可选，内部无死角，浸润表面 EP 处理（表面光洁度 Max. 5 μin. Ra），100% 氦泄漏测试。
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我们的接头、阀门、过滤器、软管和快速接头、隔膜阀、减压阀、集成系统基块与钢管，符合SEMI标准，模块化和紧凑设计，安装维护简单，广泛应用于半导体制造。
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管阀件及集成气路系统基块
HN DVP 气动隔膜阀
模块化气路气动隔膜阀。W 型密封和 C 型密封可选，内部无死角，浸润表面 EP 处理（表面光洁度 Max. 5 μin. Ra），100% 氦泄漏测试。
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管阀件及集成气路系统基块
HNCS C-Seal 模块化基座
SEMI 标准表面安装的 C-Seal 模块化气体系统基座、歧管与配套部件。系统连接界面采用 C-Seal 金属密封形式，兼具高气密性、耐高温及耐高压性能。
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管阀件及集成气路系统基块
HNWS W-Seal 模块化基座
SEMI 标准表面安装的 W-Seal 模块化气体系统基座、歧管与配套部件。系统连接界面采用 W-Seal 金属密封形式，兼具高气密性、耐高温及耐高压性能。
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