
流量控制与测量
PS300 气体质量流量控制器
面向高纯介质流量控制应用的压差式质量流量控制器。采用高速压力传感器与快速且稳定的压电驱动器,结合 32 位快速响应 CPU,在全流量范围内实现低于 0.8 秒的快速响应。基于实际工艺气体标定,结合内置气体特性数据库,提高实际流量准确度。
查看系列我们的质量流量控制器与流量计,专为精确测量和控制气体或液体而设计。无论您需要标准型号还是定制解决方案,我们的流量仪表专为实验室、机械设备、工业应用的使用而量身定制。
共 8 个产品系列

流量控制与测量
面向高纯介质流量控制应用的压差式质量流量控制器。采用高速压力传感器与快速且稳定的压电驱动器,结合 32 位快速响应 CPU,在全流量范围内实现低于 0.8 秒的快速响应。基于实际工艺气体标定,结合内置气体特性数据库,提高实际流量准确度。
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流量控制与测量
面向先进半导体制造工艺的气体质量流量控制器。通过检测层流元件两端的压差信号实现宽量程高灵敏度流量测量,入口采用低死体积压电式金属隔膜阀,以 2ms 周期驱动压电阀,实现快速响应与高分辨率控制。
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流量控制与测量
采用毛细管热温差式传感器的经济型质量流量控制器。测量精度不受温度和压力影响,基体采用 316L 不锈钢,最大工作压力 450 kPa。传统电磁比例阀控制,是低成本应用的最佳解决方案。
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流量控制与测量
以灵活性和高精度著称的数字式质量流量控制器。采用创新的可变 PID 控制系统结合多项式近似曲线补偿技术,在全流量范围内实现设定点 ±1.0% 的控制精度和 1 秒级快速响应。全金属密封结构与耐腐蚀压电陶瓷阀,适用于半导体刻蚀、沉积等尖端制造领域。
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流量控制与测量
全新设计的新一代 MFC,在毛细管热温差式传感器基础上引入高精度数字补偿技术和标准流量控制系统,进一步提高质量流量控制精度。全金属密封结构与耐腐蚀压电陶瓷阀,具备压力不敏感特性,确保传感器超凡的稳定性、线性度和动态响应特性。
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流量控制与测量
专为半导体及高精度化学工艺中的微小流量控制而设计的数字式液体质量流量计。采用珀尔帖元件冷却液体的测量方式,从根本上消除低沸点化学品在测量过程中沸腾的风险,实现从微升到超低流量的高精度测量。
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流量控制与测量
专为半导体及高精度化学工艺中的微小流量控制而设计的数字式液体质量流量控制器。在流量计基础上集成了压电驱动阀与内部比较控制回路,通过实时比较设定信号与输出信号并自动调节阀门开度,形成闭环反馈系统。
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流量控制与测量
兼具科研级精度与灵活便携性的经济型质量流量计,专为各类工业应用和实验室气体分析而优化。采用内置层流元件结合先进的多变量传感器,能够在同一流道内同时测量质量流量、体积流量、压力等多参数。
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