- 层流元件 + 多变量传感器
- 同一流道内同时测量质量流量、体积流量、压力等多参数
- 科研级精度
- 标准精度 ±0.8% F.S.,高精度 ±0.6% F.S.
- 灵活便携
- 经济型设计,适用于工业应用和实验室气体分析
PF500 系列是一款兼具科研级精度与灵活便携性的经济型质量流量计,专为各类工业应用和实验室气体分析而优化。
该系列的核心优势在于其测量原理:采用内置的层流元件结合先进的多变量传感器,能够在同一流道内同时测量质量流量、体积流量、压力等多参数,标准精度 ±0.8% F.S.,高精度版本可达 ±0.6% F.S.。
详细规格
测量部分
| 测量方式 | 内置层流元件 + 多变量传感器 |
|---|---|
| 测量参数 | 同时测量质量流量、体积流量、压力和温度 |
| 介质类型 | 可配置 |
| 多介质切换 | 本地更改气体类型或设置多种气体混合物,无需重新校准 |
| 满量程流量 | 10SCCM ~ 20SLPM |
| 测量范围 | 0.01-100% F.S. |
| 响应时间 | < 10 ms |
| 准确度 | ±0.8% F.S., 可选 ±0.6% F.S. |
| 重复性 | ±0.1% Rd + ±0.02% FS |
| 温度敏感性(相对 25℃) | ±0.01% FS/℃ |
压力与温度
| 工作压力 | 50 kPa(A) ~ 1 MPa(A) |
|---|---|
| 压力精度 | ±0.25% Rd |
| 工作温度 | 0~50 ℃ |
| 温度精度 | ±0.75 ℃ |
机械部件
| 接液材质 | SUS 316L |
|---|---|
| 密封材质 | 橡胶密封 |
| 工艺连接 | 1/4" BSPP 内螺纹, 1/4" 卡套和 1/4" VCR 公头可选 |
电气特性
| 电源 | +9~36 VDC, 40 mA |
|---|---|
| 通信方式 | RS-485, 模拟信号 0-5 VDC, 0-10 VDC, 4-20 mA 可选 |
| 电气连接 | SCSI 14-pin |
选型支持
提交使用场景、介质或样品、接口与控制要求,我们将依据已发布资料协助核对可用配置。
可核对的已发布信息:层流元件 + 多变量传感器、科研级精度、灵活便携、测量方式
资料下载
暂无可下载资料。 如需产品资料,请 联系我们。
同类系列

流量控制与测量
PS300 气体质量流量控制器
面向高纯介质流量控制应用的压差式质量流量控制器。采用高速压力传感器与快速且稳定的压电驱动器,结合 32 位快速响应 CPU,在全流量范围内实现低于 0.8 秒的快速响应。基于实际工艺气体标定,结合内置气体特性数据库,提高实际流量准确度。
查看系列
流量控制与测量
PS500 气体质量流量控制器
面向先进半导体制造工艺的气体质量流量控制器。通过检测层流元件两端的压差信号实现宽量程高灵敏度流量测量,入口采用低死体积压电式金属隔膜阀,以 2ms 周期驱动压电阀,实现快速响应与高分辨率控制。
查看系列
流量控制与测量
TE300 热式质量流量控制器
采用毛细管热温差式传感器的经济型质量流量控制器。测量精度不受温度和压力影响,基体采用 316L 不锈钢,最大工作压力 450 kPa。传统电磁比例阀控制,是低成本应用的最佳解决方案。
查看系列