
气体混配与集成系统
集成式气体系统 (IGS)
高纯气体输送与精密控制解决方案。采用面板式模块化拼装结构,所有功能部件以 SEMI 标准表面安装方式集成于同一基板上,整体体积约为传统气体面板的 1/3。系统连接界面可选用 W-Seal 或 C-Seal 金属密封形式,兼具高气密性、耐高温及耐高压性能。
查看系列我们的集成式气体系统、气体混配系统、预设计子系统和取样系统,可简化各种设备设施的流体取样、混合配比和控制,为半导体等行业提供流体系统解决方案。
共 2 个产品系列

气体混配与集成系统
高纯气体输送与精密控制解决方案。采用面板式模块化拼装结构,所有功能部件以 SEMI 标准表面安装方式集成于同一基板上,整体体积约为传统气体面板的 1/3。系统连接界面可选用 W-Seal 或 C-Seal 金属密封形式,兼具高气密性、耐高温及耐高压性能。
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