集成式气体系统 (IGS)

集成式气体系统（IGS）是高纯气体输送与精密控制的模块化解决方案。系统采用面板式模块化拼装结构，所有功能部件均以 SEMI 标准表面安装方式集成于同一基板上，可有效减少管路连接数量，提升系统集成度，整体体积约为传统气体面板的 1/3。

系统连接界面可选用 W-Seal 或 C-Seal 金属密封形式，兼具高气密性、耐高温及耐高压性能，适用于复杂气体工艺及超高纯气体输送环境。所有模块化连接界面均可配置独立检漏孔，可直接进行氦质谱检漏，无需拆卸组件。

关键部件选用符合 SEMI 标准的材料，并采用机械抛光、电解抛光及轨道焊接等工艺；紧固螺栓采用镀银处理，系统最终在洁净室环境中完成组装、检测与包装，采用真空双层包装方式降低外部颗粒污染风险。