光伏

光伏制造中的 PECVD、扩散、镀膜等环节需要精确的气体配比与稳定的流量控制。我们的流量控制与气体分析产品帮助光伏企业提升工艺一致性，降低生产成本，支撑更高转换效率的电池片制造。

科研与实验室场景对气体控制和真空分析的要求既广又深。残余气体分析仪（RGA）基于质谱原理，通过电离气体分子并按质荷比分离检测，可对真空系统中的残余气体进行 ppm 乃至 ppb 级别的定性与定量分析，是真空科学与表面科学研究中的常用工具。

RGA 的核心应用包括真空质量监测、检漏与放气研究：在高真空与超高真空装置（表面分析、加速器、扫描显微镜、航空航天舱等）中监测残余气体的成分与含量；利用氦气示踪定位微米级漏孔，检出限可达 10⁻¹³ Pa·m³/s 量级；测量材料随温度变化的放气行为与渗透率。典型的质量峰诊断——质量数 18 的水汽、28 的氮气、32 的氧气——能快速判断系统本底与密封状态。

四极杆 RGA 通常工作在 10⁻⁴ Torr 以下压力环境，配合法拉第杯或电子倍增器，检测限分别约为 5×10⁻¹¹ 与 5×10⁻¹⁴ Torr，动态范围可达 6 个数量级以上。离子源常采用钨丝或涂氧化钇的铱灯丝，双灯丝设计可延长寿命。

除真空分析外，科研实验室还大量使用质量流量控制器进行精确配气：混合气体标定、反应气路搭建、气氛保护与工艺条件实验，都需要每一路气体稳定、可重复地输送。MFC 的数字通信与自动配气能力，让复杂多路供气系统可以通过上位机统一编程。

海纳面向科研院所与高校实验室，提供残余气体分析、气体混配、质量流量控制与真空度监测等产品与方案，助力研究团队获得可重复的实验条件与可靠的诊断数据。