HNCS C-Seal 模块化基座

HNCS 系列是 SEMI 标准表面安装的 C-Seal 模块化气体系统基座平台，包含基块、歧管、法兰、堵帽、安装块、支架、密封垫片等全套部件。

系统连接界面采用 C-Seal 金属密封形式，兼具高气密性、耐高温及耐高压性能，适用于复杂气体工艺及超高纯气体输送环境。所有模块化连接界面均可配置独立检漏孔，可直接进行氦质谱检漏，无需拆卸组件。

关键部件选用符合 SEMI 标准的材料，并采用机械抛光、电解抛光及轨道焊接等工艺，确保气体接触面具备良好的洁净度、耐腐蚀性与长期稳定性。