气体混配器

GMD 系列气体混配器，用于二组分或多组分气体的精确动态配比与混合，适用于半导体工艺气体混配、实验室配气系统等应用场景。

气体混配器通过MFC调节各组分的质量流量而混配出混合气体。对每一组分气体均采用一个质量流量控制器，通过气体的热传导性测定气体的质量流量并进行控制。各路气体汇聚一起成为混合气体。全电子控制系统可优化气体的质量流量，并补偿压力波动和温度影响等干扰因素，并保持生产周期的稳定。

可根据客户工艺需求定制通道数量与混合比例。