管阀件及集成气路系统基块
HN DVP 气动隔膜阀
模块化气路气动隔膜阀。W 型密封和 C 型密封可选，内部无死角，浸润表面 EP 处理（表面光洁度 Max. 5 μin. Ra），100% 氦泄漏测试。
关键能力
- 最大工作压力
- 150 psig
- 最大工作温度
- PCTFE：-10℃ ~ 80℃（14℉ ~ 176℉）
- 膜片材质
- Elgiloy
- 泄漏率
- 1×10⁻⁹ mbar·L/s He
- W/C 型密封可选
- 兼容 C-Seal 与 W-Seal 模块化连接平台
- 气动驱动
- 适合自动化工艺控制场景
- 内部无死角
- 流道设计无死体积，适合超高纯气体应用
- 100% 氦泄漏测试
- 每台产品出厂前均通过氦质谱检漏
HN DVP 系列气动隔膜阀是模块化气路的自动化隔离解决方案。W 型密封和 C 型密封可选，内部无死角设计，浸润表面 EP 处理，表面光洁度 Max. 5 μin. Ra，每台产品出厂前均通过 100% 氦泄漏测试。
气动驱动方式适合自动化工艺控制场景，兼容 SEMI 标准模块化连接平台，适用于超高纯气体输送系统的隔离与切换控制。
详细规格
技术参数
| 最大工作压力 | 150 psig |
|---|---|
| 最大工作温度 | PCTFE：-10℃ ~ 80℃（14℉ ~ 176℉） |
| 表面光洁度 | Max. 5 μin. Ra |
| 阀座 | PCTFE（可选 PFA / Vespel） |
| 膜片 | Elgiloy |
| 泄漏率（外部） | 1×10⁻⁹ mbar·L/s He |
| 泄漏率（内部） | 1×10⁻⁹ mbar·L/s He |
选型指南
| 驱动方式 | PO：气动型（常开）；PC：气动型（常闭） |
|---|---|
| 本体材质 | LV：316L VAR；LW：316L VIM VAR |
| 孔位数量 | C2：两孔；C3：三孔 |
| 接口尺寸 | C11：C 型密封 1.125"；C15：C 型密封 1.5"；W11：W 型密封 1.125"；W15：W 型密封 1.5" |
| 阀座密封件 | PC：PCTFE；PA：PFA；VS：Vespel |
选型支持
提交使用场景、介质或样品、接口与控制要求，我们将依据已发布资料协助核对可用配置。
可核对的已发布信息：W/C 型密封可选、气动驱动、内部无死角、100% 氦泄漏测试
资料下载
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HN DVP 气动隔膜阀产品样本
产品样本 · 20260912 V01 · 中文 · 2026年9月12日 · PDF · 2.6 MB
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