- 毛细管热温差式传感器
- 测量精度不受温度和压力影响
- 316L 不锈钢基体
- 最大工作压力可达 450 kPa,耐腐蚀可靠
- 电磁比例阀控制
- 传统控制方式,低成本应用最佳方案
- 浪涌抑制保护电路
- 电气接口采用浪涌抑制和过压过流保护,确保系统稳定可靠
- 多通信协议
- 数字 I/O 多种通信协议可选,兼容模拟通信
TE100 系列采用毛细管热温差式传感器,测量精度不受温度和压力影响;基体采用 316L 不锈钢,最大工作压力可达 450 kPa。
控制阀采用传统的电磁比例阀,是低成本应用的最佳解决方案。全新设计数字型测量控制电路,数字 I/O 多种通信协议可选,兼容模拟通信;电气接口部分采用浪涌抑制和过压过流保护电路,确保系统稳定可靠运行。
详细规格
测量与控制
| 介质类型 | 可配置可选多气体多量程功能 |
|---|---|
| 满量程流量 | 5SCCM-200SLM (N2 等效流量) |
| 流量控制范围 | 2-100% F.S. |
| 响应时间 | < 1 秒 |
| 准确度 | ±1.0% S.P. (30-100% F.S.), ±0.3% F.S. (1-30% F.S.) |
| 直线性 | ±0.5% F.S. |
| 重复性 | ≤ ±0.2% F.S. |
压力与温度
| 耐压等级 | 1000 kPa(A) |
|---|---|
| 入口工作压力 | ≤ 450 kPa(G) |
| 工作压差 | ≤ 300 kPa(D) |
| 工作温度 | 5-50 ℃ |
机械部件
| 接液材质 | SUS 316L |
|---|---|
| 密封材质 | 全金属密封 |
| 阀门类型 | 比例电磁阀 |
| 闭阀泄漏 | < 2% F.S. |
| 泄漏率 | ≤ 5×10⁻¹² Pa·m³/s (He) |
| 工艺连接 | 1/4" VCR, 1/2" VCR, 1/4" 卡套, 3/8" 卡套, 1/2" 卡套 |
| 防护等级 | IP40 |
电气特性
| 电源 | +9~36 VDC, 最大 1A |
|---|---|
| 通信协议 | 模拟信号, RS-485, 可选 DeviceNet, EtherCAT |
| 电气接口 | 9-pin D-Sub (模拟和供电), RJ-45 (RS-485), 5-pin M12 (DeviceNet), 5-pin M8 和 RJ-45 (EtherCAT) |
选型支持
提交使用场景、介质或样品、接口与控制要求,我们将依据已发布资料协助核对可用配置。
可核对的已发布信息:毛细管热温差式传感器、316L 不锈钢基体、电磁比例阀控制、浪涌抑制保护电路
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