- 快速响应
- 高速压力传感器、快速稳定的压电驱动器，配合优化算法，全量程响应时间 ≤ 0.8 秒
- 高精度
- 基于实际工艺气体标定，结合内置气体特性数据库，流量精度 ±1% S.P.（20-100% F.S.）
- 宽动态范围
- 1~100% F.S. 流量控制范围，可选 0.5~100% F.S.
- 压力不敏感性
- 集成控制算法，有效减缓供气压力波动对流量的影响
- 多气体多范围
- 专用软件支持本地变更气体类型和全量程流量
PS300 系列质量流量控制器，基于层流差压测量原理，专为高纯介质流量控制应用设计。采用高速压力传感器与快速稳定的压电驱动器，配合 32 位快速响应 CPU 与优化算法，可在整个流量范围内实现低于 0.8 秒的快速响应。
产品基于实际工艺气体标定，结合内置气体特性数据库，显著提高实际流量准确度；1~100% F.S. 的宽动态流量控制范围（可选 0.5~100% F.S.），通过集成控制算法有效减缓供气压力波动对流量的影响，并支持通过专用软件本地变更气体类型和全量程流量。
广泛应用于气体成分制造、PVD 和 CVD、光学玻璃镀膜、LED 生产、真空技术、光伏元件制造，以及离子注入、蚀刻和原子层沉积等半导体制造工艺。
详细规格
测量与控制
| 介质类型 | 气体可配置可选多气体多量程功能 |
|---|---|
| 满量程流量 | 10SCCM - 20SLM |
| 流量控制范围 | 1-100% F.S. (0.5-100% F.S. 可选) |
| 响应时间 | < 0.8 秒 |
| 准确度 | ±1.0% S.P. (20-100% F.S.), ±0.2% F.S. (1-20% F.S.) |
| 重复性 | ±0.3% S.P. (20-100% F.S.), ±0.06% F.S. (1-20% F.S.) |
| 温度敏感度（自 25℃） | ±0.05% S.P./℃ (20-100% F.S.), ±0.01% F.S./℃ (1-20% F.S.) |
| 零点/量程稳定性 | ±1.0% F.S. / 年 |
| 安装方向 | 任意 |
压力与温度
| 耐压 | 1000 kPa(A) |
|---|---|
| 入口工作压力 | 240-450 kPa(A) |
| 入口压力精度 | ±10 kPa (0-1000 kPa(A)) |
| 工作压差 | ≥ 240 kPa(D) |
| 工作温度 | 15-45 ℃ |
| 储存温度 | 0-80 ℃ |
机械部件
| 接液材质 | SUS 316L |
|---|---|
| 密封材质 | 全金属密封 |
| 阀门类型 | 压电陶瓷阀，常闭 |
| 阀片泄露 | < 1.0% F.S. |
| 泄漏率 | ≤ 5×10⁻¹¹ Pa·m³/s (He) |
| 工艺连接 | 1/4 英寸 VCR 公头 |
| 防护等级 | IP40 |
电气特性
| 电源 | +9~36 VDC, 最大 1A |
|---|---|
| 通讯协议 | 模拟信号, Modbus/RS-485, DeviceNet, EtherCAT |
| 电气接口 | 9-pin D-Sub (模拟和供电), RJ-45 (RS-485), 5-pin M12 (DeviceNet), 5-pin M8 和 RJ-45 (EtherCAT) |
选型支持
提交使用场景、介质或样品、接口与控制要求，我们将依据已发布资料协助核对可用配置。
可核对的已发布信息：快速响应、高精度、宽动态范围、压力不敏感性
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