PS500 气体质量流量控制器

PS500 系列是面向先进半导体制造工艺的气体质量流量控制器，适用于对流量稳定性、响应速度和控制精度要求较高的工艺环境。

设备通过检测层流元件两端的压差信号，实现宽量程范围内的高灵敏度流量测量。入口采用低死体积压电式金属隔膜阀，可快速调节流量并降低供气压力波动对工艺流量的影响。系统基于实际工艺气体标定数据建立三维气体特性数据库，以 2ms 周期驱动压电阀，实现快速响应、精细调节与高分辨率控制。

PS500 将测量部分设置在控制阀下游，结合压力波动抑制算法，在供气压力变化时保持稳定控制；内置入口压力传感器，压力数据可本机显示或通过数字通信读取，无需额外配置独立入口压力传感器，有助于简化供气系统结构。

可满足先进沉积、蚀刻等工艺对流量快速调节的要求。