- 珀尔帖元件冷却测量
- 取代传统热交换方法，消除低沸点化学品沸腾风险
- 微小流量高精度控制
- 可实现从微升到超低流量的高精度控制
- 适用于高粘度液体
- 支持最大粘度 0.1 Pa·s (100 cP)
- ΔT 温升检测计量
- 通过检测冷却元件引起的温升 (ΔT) 计量流量，防止液体汽化干扰
LTM 系列数字式液体质量流量计专为半导体及高精度化学工艺中的微小流量控制而设计。采用珀尔帖元件冷却液体的测量方式，而非传统的热交换方法，从根本上消除了低沸点化学品在测量过程中沸腾的风险，确保工艺的安全性与稳定性。
该系列可实现从微升到超低流量的高精度控制，适用于高粘度液体材料。流量传感器通过检测冷却元件引起的温升（ΔT）来计量流量，有效防止了液体汽化带来的干扰。
详细规格
测量部分
| 测量原理 | 珀尔帖元件冷却, ΔT 温升检测 |
|---|---|
| 介质类型 | 可配置 |
| 介质粘度 | 最大 0.1 Pa·s (100 cP) |
| 满量程流量 | 0.02/0.05/0.1 g/min, 0.2/0.5 g/min, 1/2/5 g/min, 10/20 g/min, 50/100 g/min |
| 测量范围 | 5-100% F.S. |
| 准确度 | ±1.0% F.S. |
| 直线性 | ±0.5% F.S. |
| 温度敏感性 | ±0.1% F.S./℃ max: 1% |
机械部件
| 接液材质 | SUS 316L |
|---|---|
| 泄漏率 | ≤ 5×10⁻¹² Pa·m³/s (He) |
| 过程连接 | 1/16" 卡套, 1/8" 卡套, 1/4" 卡套, 1/8" VCR, 1/4" VCR |
压力与温度
| 耐压等级 | 10 MPa |
|---|---|
| 工作压力 | 5 MPa |
| 工作压降 | ≤ 5 kPa(D) |
| 工作温度 | 5-50 ℃ |
电气特性
| 电源 | +9-36 VDC |
|---|---|
| 通信方式 | 模拟信号, RS-485 |
| 电气接口 | 9-pin D-Sub (模拟信号和供电), RJ-45 (RS-485) |
选型支持
提交使用场景、介质或样品、接口与控制要求，我们将依据已发布资料协助核对可用配置。
可核对的已发布信息：珀尔帖元件冷却测量、微小流量高精度控制、适用于高粘度液体、ΔT 温升检测计量
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