问题定义
从工况边界开始
单次谱图不能独立解释工艺状态，需要结合真空、时间和设备动作建立可比较的诊断过程。
方案输入
需要确认的工况条件
真空系统
抽气路径、工作阶段、测点和接口。
诊断目标
本底、泄漏、放气或工艺残留。
数据关联
需要同步记录的设备状态和工艺事件。
系统组成
围绕任务组织功能单元
残余气体分析
按检测目标选择检测器与安装方式。
真空测量
为分析过程提供必要的压力状态参考。
数据记录
形成可复核的趋势、事件和备注。
实施路径
方案工作流程
步骤 1
确认输入
记录介质、边界条件、动作和设备接口。
步骤 2
形成配置
匹配产品、连接、控制与诊断路径。
步骤 3
复核边界
按受控资料和项目记录复核最终配置。
交付边界
明确系统接口与责任范围
具体产品、接口、检验和现场工作范围以双方确认的项目文件为准。
