- 高精度测量
- 真空压力精确测量
- 稳定可靠
- 长期稳定运行，适应苛刻工艺环境
- 多应用场景
- 半导体腔体 / 真空镀膜 / 气体分析
高精度真空计用于真空系统的压力测量与监控，适用于半导体工艺腔体、真空镀膜、气体分析系统等应用场景。
具备高精度测量能力与可靠的长期稳定性，具体量程与接口按项目确认。
详细规格
基础参数
| 测量原理 | 电容薄膜 / 皮拉尼 / 冷阴极 / 热阴极电离 |
|---|---|
| 测量范围 | 1×10⁻⁹ ~ 1×10⁵ Pa（依传感器类型） |
| 测量精度 | ±0.2% / ±0.5% / ±1% of reading（依型号） |
| 分辨率 | 0.001 Pa（低量程段） |
| 响应时间 | < 50 ms |
| 工作温度 | 5~50 ℃ |
材料与接口
| 本体材质 | SUS 316L / 304 不锈钢 |
|---|---|
| 传感器膜片 | Inconel 625 / 哈氏合金 |
| 真空接口 | KF16 / KF25 / KF40 / CF35 / CF63 / VCR 1/4" / 1/2" |
| 过流材质 | SUS 316L / 陶瓷 / 玻璃 |
| 漏率（外部） | ≤ 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (He) |
| 烘烤温度 | ≤ 150 ℃（电离型） |
电气与通信
| 通信方式 | RS-232 / RS-485 / 以太网 / 模拟 0-10 VDC |
|---|---|
| 电源 | 24 VDC ±10% / AC 220 V（依型号） |
| 功耗 | < 5 W（电容薄膜型）/ < 15 W（电离型） |
| 输出信号 | 数字信号 / 模拟电压 / 设定点继电器 |
| 显示 | LCD 数字显示 / 无显示（嵌入式） |
选型支持
提交使用场景、介质或样品、接口与控制要求，我们将依据已发布资料协助核对可用配置。
可核对的已发布信息：高精度测量、稳定可靠、多应用场景、测量原理
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