- 双灯丝离子源
- 减少更换频率，降低长期使用与维护成本
- 高性能电子倍增器
- 适用于痕量气体检测，灵敏度极高
- 高抗污染四极杆质量过滤器
- 316L 高纯度不锈钢 / 高纯度钼材质，长期稳定运行
- 高速数据采集
- 基于集成电路技术，毫秒级数据采集速度
- 差分真空系统
- 分子泵、前级机械泵与真空微调阀协同工作，实现差分真空控制
HMS 系列残余气体分析仪面向精密流体控制与超高纯流体系统，为先进半导体工艺提供快速、可靠的气体分析与监测。
采用双灯丝离子源设计与高抗污染四极杆质量过滤器，配备高性能电子倍增器检测器，适用于痕量气体检测，可满足从低真空到高真空的样品引入需求。
基于国产供应链进行自主设计与开发，拥有完整的自主知识产权，可有效提升产品供应的稳定性与安全性。采用长寿命令关键元器件，减少真空组件更换需求和停机维护频率。
详细规格
基础参数
| 产品名称 | Residual Gas Analyzer HMS-F |
|---|---|
| 系列 / 规格 | HMS / 100, 200, 300 |
| 质量范围 | 1~100 amu (100) / 1~200 amu (200) / 1~300 amu (300) |
| 检测器 | High-performance electron multiplier |
性能指标
| 质量分辨率 | < 1 amu |
|---|---|
| 质量稳定性 | 0.1 amu/24 h |
| 最大工作压力 | ≤ 1×10⁻³ mbar (0.1 Pa) |
| 响应时间 | ≤ 0.1 ms |
| 工作环境温度 | 5~50 ℃ |
接口与电气
| 输入电压 | AC 220 V |
|---|---|
| 通信方式 | RS-232, RS-485, Ethernet, standard I/O, USB |
| 控制软件 | HMS 1.0 |
| 整机重量 | ≤ 2 kg |
选型支持
提交使用场景、介质或样品、接口与控制要求，我们将依据已发布资料协助核对可用配置。
可核对的已发布信息：双灯丝离子源、高性能电子倍增器、高抗污染四极杆质量过滤器、高速数据采集
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HMS 系列残余气体分析仪产品样本
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