TE700 Thermal Mass Flow Controller
Thermal mass flow controller for process gas measurement and closed-loop control; configuration confirmed per project.
Key capabilities
- 入口工作压力
- ≤ 450 kPa
- 流量控制范围
- 2-100% F.S.
- 流量精度
- ±1.0% S.P. (25-100% F.S.)
- 压力精度
- ±7 kPa (0-700 kPa(A))
- 新一代流体测控技术
- 毛细管热温差式传感器 + 高精度数字补偿技术
- 压力不敏感特性
- 确保传感器超凡的稳定性、线性度和动态响应特性
- 全金属密封结构
- 耐腐蚀压电陶瓷阀，长期可靠
- 高精度流量控制
- 高精度标准流量控制系统，进一步提高控制精度
TE700 系列是全新设计的新一代 MFC，采用前沿的流体测控技术，在毛细管热温差式传感器的基础上，引入了高精度的数字补偿技术和高精度的标准流量控制系统，进一步提高了质量流量控制的精度。
产品采用全金属密封结构与耐腐蚀压电陶瓷阀，保证在苛刻工艺环境中的长期可靠性。相对 TE100/500 还具备压力不敏感特性，确保传感器超凡的稳定性、线性度和动态响应特性。
Detailed specifications
测量与控制
| 介质类型 | 可配置 |
|---|---|
| 全量程流量 | 10SCCM-100SLM |
| 流量控制范围 | 2-100% F.S. |
| 响应时间 | < 1 秒 |
| 准确度 | ±1.0% S.P. (25-100% F.S.), ±0.25% F.S.（2-25% F.S.） |
| 直线性 | ±0.5% F.S. |
| 重复性 | ≤ ±0.2% F.S. |
| 压力不敏感性 | 是 |
压力与温度
| 耐压等级 | 1000 kPa(A) |
|---|---|
| 入口工作压力 | ≤ 450 kPa(G) |
| 压力精度 | ±7 kPa（0-700 kPa(A)） |
| 工作压差 | ≤ 300 kPa(D) |
| 工作温度 | 5-50 ℃ |
| 温度精度 | ±1 ℃ |
机械部件
| 接液材质 | SUS 316L |
|---|---|
| 密封材质 | 全金属密封 |
| 阀门类型 | 耐腐蚀压电陶瓷阀（全金属密封） |
| 闭阀内漏 | ＜ 2% F.S. |
| 泄漏率 | ≤ 5×10⁻¹² Pa·m³/s (He) |
电气特性
| 电源 | +9-36 VDC, 最大 1A |
|---|---|
| 通信模式 | 模拟信号, RS-485, DeviceNet, EtherCAT |
| 电气接口 | 9-pin D-Sub (模拟和供电), RJ-45 (RJ-485), 5-pin M12 (DeviceNet), 5-pin M8 和 RJ-45 (EtherCAT) |
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可核对的已发布信息：新一代流体测控技术、压力不敏感特性、全金属密封结构、高精度流量控制
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