五类工程产品方向:流量控制与测量、压力控制、气体分析与真空测量、气路阀件与接头、气体混配与集成系统。

Ultra-high purity gas line fittings for semiconductor and high-purity applications.
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我们的质量流量控制器与流量计,专为精确测量和控制气体或液体而设计。无论您需要标准型号还是定制解决方案,我们的流量仪表专为实验室、机械设备、工业应用的使用而量身定制。
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我们的压力控制器用于监控、调节或控制供气管路内的压力,或者保持工艺腔室内的稳定压力。
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我们的残余气体分析仪是分析由真实泄漏、虚拟泄漏或腔壁放气所引起的系统气体负荷的有效工具,能够区分不同的气体种类、具备相当的灵敏度水平,以及能够检测内部或“虚拟”泄漏,并能对放气问题进行检测和分析。我们的真空规、变送器和控制器采用了多种压力测量技术,能在10E(-11)至1500 Torr 压力范围内可靠、精确和耐用的真空测量。
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我们的接头、阀门、过滤器、软管和快速接头、隔膜阀、减压阀、集成系统基块与钢管,符合SEMI标准,模块化和紧凑设计,安装维护简单,广泛应用于半导体制造。
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我们的集成式气体系统、气体混配系统、预设计子系统和取样系统,可简化各种设备设施的流体取样、混合配比和控制,为半导体等行业提供流体系统解决方案。
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