TE500 Thermal Mass Flow Controller
Thermal mass flow controller for process gas measurement and closed-loop control; configuration confirmed per project.
Key capabilities
- 入口工作压力
- ≤ 450 kPa
- 流量控制范围
- 2-100% F.S.
- 流量精度
- ±1.0% S.P. (25-100% F.S.)
- 响应速度
- < 1s
- 可变 PID 控制系统
- 结合多项式近似曲线补偿技术，全流量范围控制精度 ±1.0%
- 全金属密封结构
- 耐腐蚀压电陶瓷阀，保证苛刻工艺环境中的长期可靠性
- 快速响应
- 1 秒级快速响应，适应工艺变化
- 多通信协议
- 支持模拟、DeviceNet 及 EtherCAT 等多种通信协议
- 适用于尖端制造
- 半导体刻蚀、沉积等先进制造领域的理想选择
TE500 系列数字式质量流量控制器以灵活性和高精度著称。采用创新的可变 PID 控制系统，结合多项式近似曲线补偿技术，能在全流量范围内实现设定点 ±1.0% 的控制精度和 1 秒级的快速响应。
产品采用全金属密封结构与耐腐蚀压电陶瓷阀，保证在苛刻工艺环境中的长期可靠性，支持模拟、DeviceNet 及 EtherCAT 等多种通信协议，是半导体刻蚀、沉积等尖端制造领域的理想选择。
Detailed specifications
测量与控制
| 介质类型 | 可配置 |
|---|---|
| 满量程流量 | 10SCCM-100SLM (N2 等效流量) |
| 流量控制范围 | 2-100% F.S. |
| 控制方式 | 可变 PID 控制系统, 结合多项式近似曲线补偿 |
| 响应时间 | < 1 秒 |
| 准确度 | ±1.0% S.P. (25-100% F.S.), ±0.25% F.S. (2-25% F.S.) |
| 直线性 | ±0.5% F.S. |
| 重复性 | ≤ ±0.2% F.S. |
压力与温度
| 耐压等级 | 1000 kPa(A) |
|---|---|
| 入口工作压力 | ≤ 450 kPa(G) |
| 工作压差 | ≤ 300 kPa(D) |
| 工作温度 | 5-50 ℃ |
机械部件
| 接液材质 | SUS 316L |
|---|---|
| 密封材质 | 全金属密封 |
| 阀门类型 | 耐腐蚀压电陶瓷阀 |
| 闭阀泄漏 | < 2% F.S. |
| 泄漏率 | ≤ 5×10⁻¹² Pa·m³/s (He) |
| 工艺连接 | 1/4" VCR, 1/2" VCR, 1.125" IGS |
电气特性
| 电源 | 9-36 VDC, Max. 1A |
|---|---|
| 通信协议 | 模拟信号, RS-485, DeviceNet, EtherCAT |
| 电气接口 | 9-pin D-Sub (模拟和供电), RJ-45 (RS-485), 5-pin M12 (DeviceNet 和 EtherCAT) |
Selection Support
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可核对的已发布信息：可变 PID 控制系统、全金属密封结构、快速响应、多通信协议
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