1 / 44HNWS W-Seal Modular Platform
Bases, manifolds and companion parts for W-Seal modular connections; combinations confirmed per project.
Key capabilities
- 密封形式
- W-Seal
- 本体材质
- 316L EP / 316L VIM-VAR
- 表面光洁度
- Max. 5 μin. Ra
- 工艺规范
- 超高纯度气体
- SEMI 标准表面安装
- 基块、歧管、法兰、堵帽、过渡基块、密封圈等全套部件
- W-Seal 金属密封
- 高气密性、耐高温及耐高压，适用于复杂气体工艺及超高纯气体输送
- 独立检漏孔配置
- 所有模块化连接界面均可配置独立检漏孔，可直接进行氦质谱检漏
- 高洁净工艺
- 机械抛光、电解抛光及轨道焊接工艺，确保气体接触面洁净度
HNWS 系列是 SEMI 标准表面安装的 W-Seal 模块化气体系统基座平台，包含基块、歧管、法兰、堵帽、过渡基块、密封圈等全套部件。
系统连接界面采用 W-Seal 金属密封形式，兼具高气密性、耐高温及耐高压性能，适用于复杂气体工艺及超高纯气体输送环境。所有模块化连接界面均可配置独立检漏孔，可直接进行氦质谱检漏。
关键部件选用符合 SEMI 标准的材料，并采用机械抛光、电解抛光及轨道焊接等工艺，确保气体接触面洁净度与长期稳定性。
Detailed specifications
技术参数
| 密封形式 | W-Seal 金属密封 |
|---|---|
| 规格 | 11：1.125" |
| 本体材质 | 316L EP / 316L VIM-VAR |
| 表面光洁度 | Max. 5 μin. Ra |
| 工艺规范 | 超高纯度气体 |
| 检漏方式 | 独立检漏孔，可直接氦质谱检漏 |
| 表面处理 | 机械抛光 / 电解抛光 / 轨道焊接 |
部件系列
| 基块 B | B11101、B11102、B11103、B11104、B11201、B11202、B11203、B11204、B11205、B11301、B11302、B11303、B11304、B11305、B11306、B11401、B11402、B11403、B11404、B11405、B11406、B11501、B11602 |
|---|---|
| 歧管 M | M12101、M12102、M12103、M12104、M12201、M12202、M12203、M12204、M12205、M12206、M12207、M12301 |
| 法兰 F | F13101、F13102、F13103、F13105 |
| 堵帽 P | P14101、P14201 |
| 过渡基块 T | T15101、T15201 |
| 密封圈 W | W1 |
选型指南
| 型号构成 | HNWS + 规格 + 产品分类 + 产品型号 + 材质 |
|---|---|
| 产品分类 | B：基块；M：歧管；F：法兰；P：堵帽；T：过渡基块 |
| 材质 | 6L：316L 不锈钢（镍 12）；LV：316L VAR；LVV：316L VIM VAR |
| 密封圈型号 | HNWS + 11 + W1 + 材质 |
Selection Support
Share your application scenario, media or sample, interface and control requirements; we will help verify viable configurations against published documentation.
可核对的已发布信息：SEMI 标准表面安装、W-Seal 金属密封、独立检漏孔配置、高洁净工艺
Downloads
- Download
HNWS W-Seal Platform Datasheet
Datasheet · 20260912 V01 · Chinese · Sep 12, 2026 · PDF · 4.4 MB
Related Series
Gas Line Valves & Fittings
HNCS C-Seal Modular Platform
Bases, manifolds and companion parts for C-Seal modular connections; combinations confirmed per project.
View series