Gas Line Valves & Fittings
HN DVM Manual Diaphragm Valve
Manually actuated modular diaphragm valve; sealing and material configuration confirmed per project.
Key capabilities
- 最大工作压力
- 150 psig
- 最大工作温度
- PCTFE：-10℃ ~ 80℃（14℉ ~ 176℉）
- 膜片材质
- Elgiloy
- 泄漏率
- 1×10⁻⁹ mbar·L/s He
- W/C 型密封可选
- 兼容 C-Seal 与 W-Seal 模块化连接平台
- 内部无死角
- 流道设计无死体积，适合超高纯气体应用
- EP 处理浸润表面
- 浸润表面电解抛光（EP）处理，表面光洁度 Max. 5 μin. Ra
- 100% 氦泄漏测试
- 每台产品出厂前均通过氦质谱检漏
HN DVM 系列手动隔膜阀是模块化气路的手动隔离解决方案。W 型密封和 C 型密封可选，内部无死角设计，浸润表面 EP 处理，表面光洁度 Max. 5 μin. Ra，每台产品出厂前均通过 100% 氦泄漏测试。
适用于超高纯气体输送系统的隔离与切换控制，兼容 SEMI 标准模块化连接平台。
Detailed specifications
技术参数
| 最大工作压力 | 150 psig |
|---|---|
| 最大工作温度 | PCTFE：-10℃ ~ 80℃（14℉ ~ 176℉） |
| 表面光洁度 | Max. 5 μin. Ra |
| 阀座 | PCTFE（可选 PFA / Vespel） |
| 膜片 | Elgiloy |
| 泄漏率（外部） | 1×10⁻⁹ mbar·L/s He |
| 泄漏率（内部） | 1×10⁻⁹ mbar·L/s He |
选型指南
| 驱动方式 | M：手动 |
|---|---|
| 本体材质 | LV：316L VAR；LW：316L VIM VAR |
| 孔位数量 | C2：两孔；C3：三孔 |
| 接口尺寸 | C11：C 型密封 1.125"；C15：C 型密封 1.5"；W11：W 型密封 1.125"；W15：W 型密封 1.5" |
| 阀座密封件 | PC：PCTFE；PA：PFA；VS：Vespel |
Selection Support
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可核对的已发布信息：W/C 型密封可选、内部无死角、EP 处理浸润表面、100% 氦泄漏测试
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HN DVM Manual Diaphragm Valve Datasheet
Datasheet · 20260912 V01 · Chinese · Sep 12, 2026 · PDF · 2.6 MB
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